第503章 时间就是金钱!特种气体之难
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龙国的电子信息产业,发展速度太迅猛了。 为了追求高精度、高质量、高性能,电子信息产业,对工业气体不仅需求量很大,要求还很高。 哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气,纯度都要比食品工厂的高很多。 于是乎。 有关部门就将工业气体,分成了大宗气体和特种气体这两大类。 将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务,从公司剥离了出去。 让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。 这个任务,真是光荣又艰巨啊! 光荣在于研制特种气体,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。 艰巨在于特种气体,是真不好研制。 就拿生产芯片来说。 从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。 而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。 刻蚀清洗,除了常用的几种特种气体,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。 离子注入的